Revestimento por pulverização catódica de alto vácuo e evaporador térmico/de carbono – DSCT-T
O evaporador por pulverização catódica de alto vácuo e evaporador de carbono/térmico – DSCT-T – foi projetado como um instrumento versátil para a preparação de amostras para microscopia eletrônica de varredura (MEV).
Possui três cabeçotes intercambiáveis, permitindo que funcione como revestidor por pulverização catódica, revestidor de carbono e evaporador térmico em uma única unidade. Este sistema é capaz de depositar uma ampla gama de materiais, incluindo ouro (Au), liga de platina/paládio (Pt/Pd), prata (Ag), cromo (Cr), tungstênio (W), irídio (Ir) e muito mais.
Microscopia Eletrônica de Varredura (MEV) – Fornece revestimentos condutores de alta qualidade para preparar amostras não condutoras para imagens detalhadas.
Microscopia Eletrônica de Varredura por Emissão de Campo (MEV-FEG) – Produz filmes ultrafinos e uniformes necessários para análises de superfície avançadas.
Análise EDS/WDS – Fornece revestimentos livres de contaminação, ideais para estudos elementares e de composição precisos.
Microscopia Eletrônica de Transmissão (MET) – Permite a utilização de filmes finos de carbono como suporte para amostras e para a limpeza da abertura.
Difração de retroespalhamento de elétrons (EBSD) – Cria revestimentos condutores estáveis que melhoram a nitidez do padrão de difração.
Aplicações da evaporação térmica – Permite a deposição de metais com baixas temperaturas de evaporação, como Au, Ag e Al, sendo útil em sensores de película fina, componentes ópticos, micro/nanoeletrônica e pesquisa de células solares.
Pesquisa de Filmes Finos – Facilita a deposição de metais nobres, carbono, tungstênio, cromo e outros materiais complexos com espessura controlada e tamanho de grão fino.
Amostras porosas e frágeis – Oferece revestimentos uniformes com estágios opcionais de rotação planetária para proteger estruturas delicadas.
Laboratórios Acadêmicos e de Pesquisa – Um sistema versátil de modo duplo, adequado para ensino, treinamento e ambientes de pesquisa avançada com múltiplas aplicações.
- Bomba Turbomolecular de Alto Vácuo com capacidade de 90 litros por segundo (fabricada pela Leybold)
- Escolha entre uma bomba de palhetas rotativa de dois estágios ou uma bomba de diafragma como bomba de apoio
- Medidor de vácuo de gama completa (fabricado pela Leybold)
- Cabeça de evaporação de fibra de carbono
- Cabeça de evaporação com haste de carbono
- Cabeça de evaporação térmica
- Modos de revestimento de fibra de carbono pulsado ou flash
- Monitor de espessura de cristal de quartzo com precisão de 1 nanômetro e resolução de 1 angstrom
- Interface intuitiva touchscreen para controlar o processo de revestimento e fácil entrada de dados
- Software fácil de usar que pode ser atualizado através da conectividade de rede
- Controle preciso da taxa de revestimento para obter estruturas de grãos mais finos no processo de pulverização catódica
- Capacidade para pulverização cronometrada e de espessura manual ou automática
- Capacidade de pulverização catódica GLAD (Glancing Angle Deposition)
- Funcionalidade de limpeza de plasma
- Capacidade de registrar e visualizar gráficos de parâmetros de revestimento
- Equipado com obturador eletrônico
- Estágios de amostra fáceis de trocar, com opções de rotação padrão ou rotação planetária
- Coberto por uma garantia de dois anos
- Cobertura mundial por seguro de responsabilidade civil e de produto em caso de quaisquer danos materiais ou pessoais resultantes do uso dos sistemas Vac Coat.
Evaporação de Carbono de DSCT-T
O sistema de revestimento de tamanho reduzido, modelo DSCT-T (DSCT com Evaporador Térmico), é capaz de revestir carbono para produzir filmes finos uniformes em diversas superfícies usando fibra de carbono (ou opcionalmente, uma haste de carbono). Ao passar uma corrente elétrica através da fibra de carbono no modo pulsado ou flash, a evaporação do carbono é depositada na amostra. Este processo reduz efetivamente a quantidade de detritos normalmente associados aos métodos tradicionais de deposição de carbono.
Evaporação Térmica
O DSCT-T, o Sputter Coater e o Evaporador Térmico/Carbono vêm equipados com uma cabeça térmica projetada para a evaporação de metais com baixas temperaturas de evaporação, como ouro, alumínio, prata e muito mais. Esta cabeça térmica tem dupla finalidade, permitindo a deposição desses metais e facilitando a limpeza das aberturas de TEM (Microscopia Eletrônica de Transmissão).
O processo de evaporação térmica acomoda uma variedade de aplicações. Por exemplo, pode ser usado na fabricação de filmes metálicos, na produção de sensores de película fina, na fabricação de componentes ópticos e no atendimento às necessidades das indústrias de nano e microeletrônica, bem como em aplicações de células solares.
Estágios de amostra
O DSCT-T oferece a flexibilidade de várias configurações de estágios de amostragem para atender aos requisitos específicos do usuário. Esses estágios de amostra são projetados para serem giratórios e ajustáveis em altura, proporcionando facilidade de uso e adaptabilidade. Para obter revestimento uniforme em amostras porosas, a opção de um sistema de rotação planetária de amostra está disponível e é altamente recomendada.
Além disso, a cabeça térmica deste SEM Coater de alto vácuo também pode ser utilizada para limpar aberturas de TEM e SEM. Equipado com uma bomba turbomolecular, este revestidor é capaz de produzir filmes uniformes de alta qualidade com grãos finos. Esses atributos o tornam adequado para amostras que exigem caracterização de alta resolução e alta qualidade, incluindo FE-SEM, EDS/WDS, TEM e EBSD.
O DSCT-T, conhecido como Sputter Coater e Carbon/Thermal Evaporator, vem com um cátodo magnetron de 2”, uma fonte de alimentação CC comutada de alta tensão para pulverização catódica e uma fonte de alimentação de alta corrente para evaporação de carbono e evaporação térmica. É uma ferramenta valiosa para pesquisa e diversas aplicações de filmes finos em áreas como micro e nanoeletrônica e preparação de amostras.
- Vácuo final: Menos de 7 x10-7 torr
- Controle preciso da taxa de pulverização catódica para obter uma estrutura de grão mais fina
- Controle automático de potência para pulverização catódica independente da pressão
- Plotagem em tempo real dos parâmetros de revestimento
- Capacidade de registrar e gerar gráficos de parâmetros de revestimento
- Transferência conveniente de curvas e dados do processo de deposição através da porta USB para um PC
- Equipado com obturador eletrônico
- Câmara de vácuo com dimensões de 170 mm DE x 140 mm
- Utilitários adequados: 220V-240V, 50/60HZ, 16A
- Peso de envio: 42 kg
Opções e acessórios
O Desk Sputter Coater – DSCT-T oferece uma gama de opções e acessórios para aprimorar suas capacidades:
- Cabeças de evaporação de carbono para fibra e haste de carbono
- Cabeça de evaporação térmica
- Fonte de alimentação de alta corrente
- Sensor de cristal de quartzo
- Sistema de rotação de amostras planetárias
- Câmara de vidro sobressalente
- Alvos de pulverização catódica
- Escolha de fibra de carbono ou haste de carbono
- Juntas de vedação
- Fontes de evaporação térmica (barco/cesta)