Alto vácuo, revestidor por pulverização catódica de mesa com alvo de magnetron único DST1-170
O revestidor por pulverização catódica de alto vácuo e alvo único de magnetron DST1-170 é configurado como um revestidor por pulverização catódica de mesa, projetado especificamente para preparação de amostras de microscópio eletrônico de varredura (SEM). DST1-170 é versátil, capaz de depositar uma ampla gama de materiais, incluindo ouro (Au), liga de platina/paládio (Pt/Pd), prata (Ag), cromo (Cr), tungstênio (W), irídio (Ir) , e mais.
DST1-170 se destaca na produção de filmes uniformes e de alta qualidade com tamanhos de grãos finos. Esses filmes são ideais para amostras que exigem caracterização de alta resolução e alta qualidade, como aplicações FE-SEM, EDS/WDS, TEM e EBSD. Equipado com um cátodo magnetron de 2 polegadas e uma fonte de alimentação CC comutada de 80 watts, o DST1-170 é adequado para diversas pesquisas e aplicações de filmes finos.
- Alcançando deposição estrutural de grão fino para preparação de amostras SEM e FE-SEM
- Aplicações nano e microeletrônicas
- Fabricação de células solares
- Revestimento de componentes ópticos
- Desenvolvimento de sensor de filme fino
- Bomba turbomolecular de alto vácuo com capacidade de 90 L/S (Leybold)
- Bomba de vácuo de palhetas rotativas de dois estágios servindo como bomba de apoio
- Medidor de vácuo de faixa completa (Leybold)
- Válvula borboleta ISO-KF 63
- Fonte de alimentação DC avaliada em 80 watts
- Monitor de espessura de cristal de quartzo com precisão de 1 nanômetro e resolução de 1 Ångström
- Interface intuitiva com tela sensível ao toque para fácil controle do processo de revestimento e rápida entrada de dados
- Software fácil de usar com capacidade de atualização de rede
- Funcionalidade de controle para ajustar a taxa de revestimento para obter estruturas de grãos mais finos
- Oferece opções de pulverização cronometrada e de espessura manuais e automáticas
- Capacidade de pulverização catódica GLAD (Glancing Angle Deposition)
- Funcionalidade de limpeza de plasma
- Capacidade de registrar e traçar gráficos de parâmetros de revestimento
- Equipado com obturador eletrônico
- Estágios de amostra facilmente intercambiáveis, com um estágio de rotação incluído como padrão
- Apoiado por uma garantia de dois anos
- Os produtos Vac Coat são globalmente cobertos por seguro público e de responsabilidade civil do produto, garantindo proteção em caso de danos materiais ou pessoais causados pelos sistemas Vac Coat.
Vácuo limpo do revestidor por pulverização catódica de mesa
A câmara de vácuo é feita de pirex cilíndrico. O DST1-170 é equipado com uma bomba turbomolecular de 90 L/s montada internamente, suportada por uma bomba de palhetas rotativas de dois estágios de 4m³/h. Esta configuração garante um ambiente de vácuo limpo, livre da contaminação por óleo normalmente associada às bombas de difusão padrão.
Controle da tela de toque
O DST1-170 possui uma interface touchscreen colorida de 7 polegadas com controle totalmente automático e entrada de dados fácil de usar, tornando-o acessível até mesmo para usuários inexperientes. Os usuários podem operar facilmente o sistema por meio da tela sensível ao toque, onde os níveis de vácuo, a corrente e as informações de deposição podem ser visualizados como dados digitais ou exibidos como curvas. Além disso, o sistema pode armazenar informações dos últimos 300 revestimentos, que podem ser acessados na página de histórico para referência.
- Vácuo final: menos de 7 x 10 ^ -7 Torr
- Controle preciso da taxa de pulverização catódica para obter estruturas de grãos mais finos
- Controle independente de potência de pulverização catódica, independentemente da pressão
- Válvula eletrônica de vazamento para gás argônio
- Capacidade de registrar e traçar gráficos de parâmetros de revestimento
- Transferência conveniente de curvas e dados do processo de deposição via porta USB para PC
- Requisitos de energia: 220V-240V, 50/60Hz, 16A
- Peso de envio: 36 quilogramas
Opções e acessórios:
- Cristal de quartzo
- Rotação de amostra planetária
- Câmara de vidro sobressalente
- Alvos de pulverização catódica
- Juntas de vedação
