Revestimento por pulverização catódica de mesa - DSR1

Princípios da Deposição Física de Vapor (PVD)

Se você passa seus dias analisando amostras por meio de MEV ou MET, sabe que um sistema de revestimento confiável é essencial para imagens de alta qualidade. Para atingir esse equilíbrio ideal entre custo acessível e alto desempenho, o revestidor por pulverização catódica de mesa Torontech DSR1 opera com deposição física de vapor (PVD). 

Imagine uma troca de alta velocidade onde íons de argônio superenergizados colidem com um alvo de metal sólido. Esse bombardeio libera minúsculos átomos de metal, que voam pelo vácuo para formar uma camada ultrafina e perfeitamente uniforme sobre a amostra.

Esse processo é conhecido como cascata de colisões. Quando os íons de argônio atingem o alvo metálico, eles transferem sua energia em uma série de impactos. Os átomos de metal da superfície são ejetados, garantindo uma transferência de material limpa e previsível para o objeto que você está inspecionando.

Geração de plasma e tecnologia de magnetron

Para acelerar esses íons, o DSR1 cria uma descarga luminosa em um ambiente de baixa pressão. Acionado por uma bomba rotativa de palhetas de acionamento direto de dois estágios de alta potência (capacidade de 4 m³/h), ele atinge um vácuo considerável de menos de 40 militorr. A aplicação de uma carga negativa ao alvo metálico em um vácuo preenchido com argônio gera uma densa nuvem de plasma.

Embora o carregamento CC básico seja suficiente para a preparação padrão de MEV (Microscopia Eletrônica de Varredura), o DSR1 inclui um cátodo de magnetron de 2 polegadas integrado para uma granulação ultrafina e praticamente invisível. Essa adição inteligente torna todo o processo altamente eficiente. Também integramos a Limpeza por Plasma para remover contaminantes da superfície antes mesmo do metal entrar em contato com a lâmina, garantindo resultados nítidos e impecáveis ​​para imagens de alta resolução.

Controle de Processo de Precisão

Operar este revestidor de mesa por pulverização catódica significa controlar algumas configurações vitais para determinar a velocidade e a espessura da deposição. Ao ajustar esses parâmetros na tela sensível ao toque colorida e intuitiva de 7 polegadas, você consegue conciliar a qualidade superior com um orçamento inteligente.

• O Impulso de Energia (Voltagem/Corrente): Controle a sua entrada para decidir a força com que esses íons atingem o alvo.
• Mistura e pressão de gás: O uso de argônio puro com a válvula eletrônica de precisão para controle de vazamentos evita revestimentos granulados ou irregulares.
• O ângulo perfeito: O DSR1 inclui estágios de amostra intercambiáveis ​​(como o estágio planetário rotativo) e GLAD (Deposição em Ângulo Rasante) para garantir que cada recanto microscópico seja coberto uniformemente.
• Monitoramento de Deposição: O monitor de espessura de cristal de quartzo de alta precisão integrado permite a pulverização catódica manual ou totalmente automática com base na espessura exata. Ele registra suas últimas 300 pulverizações e transfere as curvas de processo para o seu PC via USB.
   

Materiais-alvo e otimização da microscopia

Os resultados da sua microscopia dependem muito do metal nobre colocado dentro da câmara cilíndrica de Pyrex de 170 mm do DSR1. Envolver a amostra em uma fina camada de metal evita o acúmulo de estática em itens não condutores e faz com que os detalhes da superfície se destaquem sob o microscópio.

Dependendo da sua análise, você pode facilmente trocar de alvo:

• Ouro (Au) e ouro/paládio (Au/Pd): A escolha clássica. Altamente condutivas e com textura superfina, essas tiras são perfeitas para amostras biológicas.
• Platina (Pt) e Irídio (Ir): Essas lixas proporcionam um acabamento incrivelmente liso, que é exatamente o que você precisa para imagens FE-SEM de altíssima resolução.
• Prata (Ag): Proporciona excelente condutividade para aplicações específicas em ciência dos materiais que exigem uma superfície refletora, sem o custo do ouro.

Ao configurar suas camadas de metal com total precisão usando este revestidor de pulverização catódica de mesa, você garante que suas amostras estejam prontas para exibir cada detalhe minucioso.