Sputter de mesa e revestidor de carbono – DSCR-300
O equipamento de revestimento por pulverização catódica e revestimento de carbono de grande câmara Desk Sputter and Desk Sputter & Carbon Coater – DSCR-300, equipado com cátodos de magnetron refrigerados a água de 3 ou 4 polegadas, funciona como um sistema de revestimento compacto que oferece recursos de pulverização catódica e revestimento de carbono.
Este sistema é ideal para revestir amostras maiores, acomodando diâmetros de até 12 cm com um magnetron de 3 polegadas ou 15 cm com um magnetron de 4 polegadas. Além disso, ele pode processar várias amostras menores com diâmetros semelhantes. Os magnetrons refrigerados a água são projetados para prolongar o tempo de deposição por pulverização catódica, tornando-os ideais para depositar camadas finas e espessas, conforme necessário para diversas aplicações.
Aplicações de pulverização catódica e revestimento de carbono
- Deposição estrutural de grãos finos de metais nobres adequada para preparação de amostras SEM e FE-SEM
- Criação de camadas condutoras
- Fácil de operar
- Software fácil de usar com suporte para controle totalmente automático e semiautomático
- Interface intuitiva com tela sensível ao toque para controle contínuo do processo de revestimento e entrada rápida de dados
- Carregamento e descarregamento conveniente de amostras
- Garante deposições repetíveis de espessura de filme
- Alcança revestimentos precisos e reprodutíveis
- Capaz de produzir revestimentos finos de alta resolução (com tamanho de grão da ordem de 2 nm para ouro)
- Sputtering de baixa tensão
- Sputtering GLAD (deposição de ângulo de visão)
- Limpeza de plasma
- Não é necessário sistema de resfriamento para camadas finas
- Oferece revestimento de carbono nos modos flash e pulso
- Utiliza fibra de carbono dupla para deposição de camadas mais espessas
- Apoiado por uma garantia de dois anos para tranquilidade
- Conformidade CE, garantindo o cumprimento das normas de segurança
- Cobertura mundial para seguro de responsabilidade civil e de produto, oferecendo proteção em caso de danos materiais ou pessoais causados pelos sistemas Vac Coat.
Estágios de amostra
O grande Desk Sputter e Carbon Coater oferece flexibilidade nas configurações de estágio de amostra, acomodando tamanhos de até 15 cm, dependendo dos requisitos específicos do usuário. Esses estágios de amostra são projetados com funcionalidade rotativa, configurações de altura ajustáveis e fácil intercambialidade para maior comodidade.
Preparação de amostra SEM
Em aplicações SEM (microscópio eletrônico de varredura), muitas vezes é necessário preparar amostras não condutoras ou pouco condutoras antes de realizar a microscopia SEM. Os métodos padrão para esta preparação de amostra envolvem deposição por pulverização catódica e evaporação de carbono. Nosso sistema oferece opções completas de automação, garantindo que até mesmo iniciantes possam operá-lo com facilidade. Além disso, nosso software fácil de usar fornece representações gráficas das informações de deposição, tornando-as acessíveis e econômicas.
Cabeça de revestimento de carbono
O dispositivo é fornecido com uma cabeça intercambiável projetada para fins de revestimento de carbono. Sua capacidade exclusiva de carregar três fibras de carbono, cada uma com diâmetro de 0.8 mm, permite a deposição de camadas de carbono em amostras grandes, particularmente adequadas para aplicações que envolvem espectroscopia de raios X por energia dispersiva (EDX).
Controle de tela sensível ao toque com display colorido
O DSCR-300 é equipado com uma tela sensível ao toque colorida de 7 polegadas que oferece controle automático completo e recursos de entrada de dados, tornando-o acessível até mesmo para usuários inexperientes. Na tela sensível ao toque, os usuários podem monitorar convenientemente os níveis de vácuo, as leituras atuais e as informações de deposição, que podem ser exibidas como dados digitais ou em formatos de curva gráfica. Além disso, o sistema tem capacidade de armazenar dados relativos às últimas 300 demãos, que podem ser facilmente acessados através da página de histórico para referência.
O revestidor por pulverização catódica de mesa modelo DSCR-300 oferece capacidades versáteis de deposição em vários substratos, tornando-o adequado para aplicações de filmes finos em áreas como micro e nanoeletrônica, bem como preparação de amostras para microscopia eletrônica de varredura (MEV).
O sistema DSCR-300 tem a capacidade de depositar metais nobres, incluindo ouro (Au), paládio (Pd), platina (Pt) e ouro/paládio (Au/Pd), sobre amostras não condutoras ou pouco condutoras. Além disso, o sistema DSCR-300 também permite a aplicação de filmes de carbono.
Observe que para pulverização catódica de metais oxidantes, é necessária a instalação de uma bomba turbomolecular que pode ser adicionada ao sistema DSCT-300 ou DSCT-170. O DSCR é um revestidor bombeado rotativo que pode ser configurado tanto para pulverização catódica CC quanto para revestimento de fibra de carbono (rosca) com cabeçotes intercambiáveis, todos integrados em um único instrumento.
- Tamanho da câmara: 300 mm de diâmetro externo x 150 mm de câmara do cilindro Pyrex
- Dimensões: 58 cm A x 50 cm L x 63 cm D
- Opções de cátodo magnetron: 3 ou 4 polegadas
- Peso de envio: 42 kg
- Fonte de alimentação: 220V-240V, 50/60Hz, 10A
- Saída da fonte de alimentação DC: 200 Watts
- Vácuo final: Menos de 5*10^-2 Torr
- Transferência de dados: Curvas e dados do processo de sputtering podem ser transferidos via porta USB para um PC
- Bomba de vácuo: Dois estágios, acionamento direto, 12 m^3/h, bomba de palhetas rotativas
- Medidor de vácuo: Medidor de vácuo termopar
- Monitor de Espessura de Cristal de Quartzo: Precisão de 1 nm
- Válvula de ventilação automática
- Armazenamento de dados: Capacidade de salvar os dados dos últimos 300 revestimentos
- Peso da bomba de vácuo: 20 kg
Opções e acessórios
- Sensor de cristal de quartzo
- Câmara de vidro sobressalente
- Alvos de pulverização catódica
- Juntas de vedação
- Cabeça de evaporação com haste de carbono
- Fonte de alimentação de alta corrente para haste de carbono
- Fibra de carbono