터보 펌프 카본 코터 및 열 증발기(DCT-T-300)는 대형 챔버를 갖추고 있어 FE-SEM, EDS/WDS, TEM, EBSD 분석 및 박막 응용 분야를 위한 시료 준비에 적합합니다. 이 코터는 고진공 조건에서 작동하여 미세 입자 크기의 균일한 탄소 및 금속 박막을 증착합니다. 이러한 특징은 고해상도 및 고품질 특성 분석이 요구되는 시편에 이상적입니다.
터보 펌프 카본 코팅기 및 열 증발기(DCT-T-300)는 직경 300mm의 원통형 챔버를 갖추고 있어 최대 직경 15cm의 샘플 또는 여러 개의 작은 시편에 장시간 증착이 가능합니다. 완전 자동 프로그래밍 방식의 카본 코팅 공정은 쉽고 정밀하며 반복 가능한 성능을 보장합니다.
또한, 이 코팅기는 저융점 재료를 상하 두 방향으로 열 증발시키는 장점을 제공합니다. 열원과 기판 사이의 거리를 조절할 수 있어 다재다능함이 더욱 향상됩니다.
터보 펌프 카본 코터 및 열 증발기(DCT-T-300)는 SEM, FE-SEM, EDX 및 TEM 시료 전처리에 적합한 탄소 필름 증착을 용이하게 합니다. 또한 전도성 층 생성도 지원합니다. 또한, 사용자는 친수성 향상을 위해 TEM 그리드 플라즈마 처리를 수행할 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 열원 홀더를 사용하여 TEM 조리개 세척을 가능하게 합니다.
- SEM 및 FE-SEM 샘플 준비 – 고해상도 이미징과 정확한 미세 구조 분석을 위해 균일한 탄소 코팅을 증착합니다.
- EDS/WDS 원소 분석 – X선 미세분석의 성능을 향상시키기 위해 미세 입자 전도성 필름을 생산합니다.
- TEM 및 EBSD 연구 – 결정학 및 투과 전자 현미경 응용 분야를 지원하는 초박형 균일 코팅을 제공합니다.
- 박막 증착 – 다양한 코팅 요구 사항을 충족하기 위해 낮은 융점 금속의 위쪽 또는 아래쪽 방향으로 열 증발을 가능하게 합니다.
- TEM 그리드 처리 – TEM 그리드의 플라즈마 처리를 용이하게 하여 친수성을 개선하고 이미징 품질을 향상시킵니다.
- 조리개 청소 – 통합 열원 홀더로 TEM 조리개 세척을 지원하여 장비 수명과 사용성을 연장합니다.
하드웨어
- Leybold의 내장 터보 펌프를 통해 높은 진공 수준을 달성했으며, 다이어프램 또는 스크롤 펌프 변형으로 제공되는 2단계 로터리 베인 백킹 펌프의 지원을 받았습니다.
- 탄소 섬유 증착을 위한 옵션 내부 500W 스위칭 DC 전원 공급 장치입니다.
- 금속 증발 및 탄소 막대 증착에 적합한 외부 1.2kW 고전류 DC 전원 공급 장치입니다.
- 1nm의 정밀도와 1Å의 분해능을 갖춘 석영 수정 두께 모니터로 증착 두께를 정확하게 모니터링합니다.
- 진공 압력을 제어하여 방출하는 자동 배기 밸브입니다.
- 조정 가능한 샘플 회전, 높이, 기울기는 특히 소형 샘플 홀더 스테이지에 맞게 설계되었습니다.
- 더욱 다양한 용도로 활용할 수 있는 옵션 행성 샘플 홀더.
- 열원을 쉽게 삽입할 수 있는 2개의 고전류 전기 피드스루.
- 위쪽 또는 아래쪽 증착 구성을 가능하게 하는 이동식 열원 홀더입니다.
- 열 헤드에 S-클립 샘플 홀더가 있어 위쪽으로 샘플을 증착하는 것이 용이합니다.
- 증착 공정을 정밀하게 제어하기 위한 전자 셔터.
- 표준으로 회전 스테이지가 제공되며, 쉽게 교체할 수 있는 시편 스테이지입니다.
- 2년 보증과 CE 적합성 표준 준수.
- 전 세계적으로 공공 및 제품 책임 보험에 대한 보장을 제공하여 재산 피해나 개인 상해에 대한 보호를 보장합니다.
자동화
- 코팅 공정을 쉽게 제어하고 데이터를 빠르게 입력할 수 있는 직관적인 터치 스크린 인터페이스입니다.
- 네트워크를 통해 업데이트하여 지속적인 개선과 호환성 향상이 가능한 사용자 친화적인 소프트웨어입니다.
- 효율성 향상을 위한 선택적 반자동 코팅 공정.
- 일관된 결과를 보장하는 자동 모드에서 반복 가능하고 프로그래밍 가능한 탄소 코팅 공정 기능을 제공합니다.
- 특수 용도에 적합한 펄스 또는 플래시 탄소 섬유 코팅 모드를 선택할 수 있습니다.
- 특정 요구 사항을 충족하기 위해 펄스 또는 램프 방식의 탄소 막대 코팅 모드를 선택할 수 있습니다.
- 설정된 두께 값에 따라 자동으로 탄소 섬유/막대/열 증착을 수행하여 프로세스를 간소화합니다.
- 분석 및 최적화를 위해 코팅 매개변수 그래프를 기록하고 표시합니다.
- 코팅 레시피를 저장하여 쉽게 접근하고 반복적으로 코팅을 수행할 수 있어 효율성과 일관성이 향상됩니다.
펄스 탄소 섬유 증발
- 짧고 제어된 버스트로 펄스 탄소 섬유 증발을 수행합니다.
- 기존 방식에 비해 증착 제어가 향상되었습니다.
- 이물질을 최소화하고 더 깨끗한 코팅 결과를 보장합니다.
탄소 막대 증발(선택 사항)
- 대체 증착 방법을 위한 옵션 탄소 막대 헤드.
- 외부 0~100A 고전류 전원 공급 장치가 필요합니다.
- 탄소 섬유 증발을 넘어선 유연성을 제공합니다.
열 증발
- 고전류, 저전압 저항형 열 플랫폼을 갖추고 있습니다.
- 정밀한 증착 제어로 광범위한 재료를 처리합니다.
- 보트, 바스켓, 코일 등 다양한 소스 유형을 지원합니다.
깨끗한 진공
- 원통형 파이렉스 챔버: 직경 300mm × 높이 200mm.
- 내부 터보 분자 펌프는 오염 없는 진공을 보장합니다.
- 성능 향상을 위해 옵션으로 6m³/h 로터리 베인 펌프를 선택할 수 있습니다.
- 확산 펌프에서 흔히 발생하는 오일 역류 현상을 제거합니다.
터치스크린 제어
- 직관적인 소프트웨어가 탑재된 7인치 컬러 터치스크린.
- 진공 레벨과 증착 순서를 데이터나 곡선으로 모니터링합니다.
- 최근 300개 코팅의 내역을 저장하고 USB로 쉽게 내보낼 수 있습니다.
- 증착 매개변수를 정밀하게 조정할 수 있습니다.
샘플 홀더 단계
터보 펌프 카본 코팅기 및 열 증발기(DCT-T-300)는 다양한 사용자 요구를 충족하는 맞춤형 샘플 스테이지 구성을 제공합니다. 표준 샘플 회전 스테이지는 회전 가능하며 높이와 각도 조절이 가능하여 사용 편의성과 다용성을 보장합니다. 또한, 다공성 시편에 균일한 코팅을 구현하는 데 이상적인 회전식 행성 샘플 스테이지를 옵션으로 선택할 수 있습니다. 더 큰 샘플에 증착하는 경우, 옵션으로 제공되는 6인치 회전식 샘플 홀더 스테이지를 권장합니다. 이 스테이지에는 경사 조절 기능이 없지만, 큰 샘플을 수용할 수 있는 충분한 공간을 제공합니다.
표준 샘플 홀더
행성 샘플 홀더
6인치 회전형 샘플 홀더 스테이지
터보 펌프 카본 코터 및 열 증발기는 다양한 펌핑 속도를 갖춘 터보 분자 펌프를 옵션으로 제공하여 성능을 향상시킵니다. 주요 사양은 다음과 같습니다.
- 진공 챔버의 크기는 외경 300mm, 높이 200mm입니다.
- 최대 진공도는 8 x 10-6 Torr 미만입니다.
- 전체 치수는 580 x 500 x 630mm(높이 x 너비 x 깊이)입니다.
- 전력 정격 2kW, 220/110V, 50/60Hz의 공공 서비스 요구 사항입니다.
- 압력에 의존하지 않는 코팅 공정의 자동 제어.
- 자동 누출 밸브를 통해 정확한 진공 압력 조절이 가능합니다.
- 플롯된 데이터를 통해 코팅 매개변수를 실시간으로 시각화합니다.
- USB 포트를 통해 코팅 데이터 플롯을 PC로 쉽게 전송할 수 있습니다.
- 배송 무게는 46kg입니다.
양수 속도 | 90 l / s | 250 l / s | 350 l / s |
궁극의 압력 | 8 × 10-6 | 3 × 10-6 | 8 × 10-7 |
옵션 및 액세서리
터보 펌프 카본 코터 및 열 증발기 시스템에는 다음과 같은 구성 요소와 액세서리가 포함됩니다.
- 탄소 막대 증발을 위한 헤드 및 전원 공급 장치
- 플라즈마 처리를 위한 플라즈마 막대 및 고전압 전원 공급 장치
- 정밀한 모니터링을 위한 석영 수정 센서
- 균일한 코팅을 위한 행성형 샘플 회전 메커니즘
- 백업 또는 교체용 예비 원통형 진공 유리 챔버
- 증착 목적의 탄소 섬유
- 진공 무결성을 보장하기 위한 밀봉 개스킷
- 증착 공정 중 재료 격리를 위한 소스 보트 및 바구니