Sistem Penguapan Termal Bell-Jar
Sistem Penguapan Termal Bell-Jar - ToronEva™ Bell Jar
ToronEva™ Bell Jar adalah sistem penguapan termal tabung kaca otomatis sepenuhnya untuk deposisi lapisan tipis di laboratorium penelitian dan pengembangan. Pemanasan resistif dalam lingkungan vakum tinggi menghasilkan lapisan tipis logam, oksida, dan organik pada tekanan dasar mencapai 10⁻⁷ Torr. Kontrol panel, waktu siklus yang cepat, dan jarak sumber ke substrat yang dapat disesuaikan menyederhanakan pengoperasian sekaligus menghemat material penguapan. Sistem ini menangani wafer 4 inci, lamela 1×3 inci, dan berbagai ukuran substrat, serta mudah beradaptasi dengan perubahan kebutuhan deposisi.
Kombinasi pompa turbomolekuler dan mekanis, dilengkapi dengan selang fleksibel SS316 dan filter debu, mencapai 10⁻⁶ Torr dalam waktu kurang dari 30 menit. Rentang vakum mencakup 1000 hingga 10⁻⁹ Torr dengan ventilasi otomatis, pengisian balik, dan kemampuan penahan ruang. Tabung kaca berbentuk lonceng tersedia dalam kaca Pyrex atau SS304, dan ukuran 75×120 cm dengan roda yang dapat dikunci muat melalui pintu standar 85 cm. Pendingin air siklus tertutup dengan kontrol hidup/mati otomatis mengatur beban panas selama proses deposisi yang panjang.
ToronEva™ Bell Jar mendukung konfigurasi penguapan berurutan dan bersamaan dengan tata letak empat sumber opsional untuk penguapan berurutan 4×1 atau penguapan bersamaan 2×2. Penutup yang dikendalikan servo melayani dua sumber termal secara bersamaan, dan monitor ketebalan saluran ganda dengan satu QCM melacak laju deposisi dan ketebalan film kumulatif secara real-time. Geometri ruang sumber yang dipatenkan mencegah kontaminasi silang antar material, menjaga kemurnian film di seluruh proses berurutan. Rotasi sampel pada 2 hingga 30 rpm meningkatkan keseragaman deposisi di seluruh permukaan substrat.
Sistem Penguapan Termal Bell-Blaster - Aplikasi Bell Jar ToronEva™
ToronEva™ Bell Jar memenuhi kebutuhan deposisi lapisan tipis di berbagai lembaga penelitian, laboratorium universitas, dan fasilitas industri khusus yang membutuhkan pelapis vakum laboratorium untuk pekerjaan lapisan tipis yang terkontrol. Konfigurasi ruangannya yang serbaguna dan berbagai pilihan dudukan sampel membuatnya cocok untuk berbagai jenis substrat dan material deposisi.
- Akademis dan University Penelitian: pengendapan logam, oksida, dan film organik untuk studi ilmu material fundamental dan fisika perangkat di lingkungan laboratorium kampus
- Pembuatan Perangkat Semikonduktor: pembentukan kontak logam, elektroda gerbang, dan lapisan dielektrik pada wafer silikon untuk pengembangan prototipe transistor dan IC
- Penelitian Film Tipis Optik: pengendapan lapisan reflektif dan anti-reflektif pada substrat kaca dan kristal untuk pengembangan fotonika dan komponen optik
- Penelitian Elektronik Organik dan OLED: pengendapan terkontrol lapisan organik dan logam untuk sel fotovoltaik organik, OLED, dan prototipe transistor film tipis
- Fabrikasi MEMS dan NEMS: metalisasi dan deposisi film fungsional untuk pengembangan perangkat mikroelektromekanik dan nanoelektromekanik
- Penelitian Sel Surya: pengendapan lapisan kontak dan film penyerap untuk pembuatan prototipe sel fotovoltaik skala laboratorium dan studi efisiensi
- Ilmu Material dan Rekayasa PermukaanStudi karakterisasi lapisan tipis yang memerlukan kontrol presisi terhadap ketebalan, komposisi, dan laju deposisi lapisan.
Sistem Penguapan Termal Bell-Jar - Fitur Utama ToronEva™ Bell Jar
ToronEva™ Bell Jar menggabungkan kinerja vakum tinggi dengan serangkaian fitur yang berorientasi pada reproduktivitas, pengendalian kontaminasi, dan kemudahan pengoperasian di lingkungan laboratorium penelitian.
- Manajemen Vakum Otomatis SepenuhnyaKontrol panel dengan waktu siklus cepat mengurangi langkah operator dan waktu persiapan antara proses deposisi yang berurutan.
- Stoples Kaca Pyrex atau Stainless Steel SS304Operator memilih material ruang yang sesuai dengan kimia proses, dengan port standar 1 inci untuk integrasi saluran masuk yang fleksibel.
- Pilihan Pemegang Sampel Serbaguna: dapat menampung wafer 4 inci, lamela 1×3 inci, dan sampel berukuran kecil hingga besar dengan pemuatan yang mudah
- Jarak Sumber-Substrat yang Dapat DisesuaikanMengoptimalkan sudut deposisi dan distribusi laju dengan memposisikan ulang sumber relatif terhadap substrat tanpa modifikasi ruang.
- Jaket Pelindung Internal SS304: melindungi bagian dalam ruang dari paparan langsung uap, memperpanjang interval servis dan menyederhanakan pembersihan pasca-deposisi
- Tekanan Dasar 10⁻⁷ Torr dengan Pemompaan Cepat: mencapai tekanan kerja 10⁻⁶ Torr dalam waktu kurang dari 30 menit, mengurangi waktu siklus dalam sesi multi-run.
- Susunan Pompa Turbomolekuler dan MekanikPompa ganda dengan selang fleksibel SS316 dan filter debu menghasilkan vakum bersih dan rendah kontaminasi di seluruh rentang operasi.
- Kontrol Vakum Rentang Luas (1000 hingga 10⁻⁹ Torr)Sistem kontrol dan pengukuran terintegrasi dengan ventilasi dan pengisian balik otomatis menghilangkan pengoperasian katup manual.
- Pendingin Air Siklus Tertutup Terintegrasi: Manajemen termal otomatis mengaktifkan dan menonaktifkan pendinginan sesuai kebutuhan, melindungi sistem selama pengoperasian terus menerus
- Konfigurasi Empat Sumber Opsional: mendukung penguapan berurutan 4×1 atau penguapan bersama 2×2 untuk pengendapan film paduan, senyawa, atau multilapis dalam satu siklus pemompaan
- Mati Otomatis Saat Listrik Mati dengan Fungsi Penahan Vakum: Mematikan sistem secara aman saat terjadi pemadaman listrik dan mempertahankan vakum ruang untuk melindungi sampel dan menjaga lingkungan pengendapan
- Catu Daya Penguapan Termal 2000 WRentang keluaran 10 V hingga 200 A mengakomodasi bahan organik dengan titik leleh rendah dan logam bersuhu tinggi dalam satu unit.
- Desain Eliminasi Kontaminasi SilangGeometri ruang sumber eksklusif mencegah kontak silang penguapan antara sumber dan dinding ruang, sehingga menjaga kemurnian material.
- Monitor Ketebalan Saluran Ganda dengan QCMPemantauan laju pengendapan dan ketebalan lapisan kumulatif secara real-time di dua sumber independen secara bersamaan.
- Rotasi Sampel 2 hingga 30 rpmRotasi substrat yang dapat disesuaikan mendistribusikan fluks uap secara seragam, meningkatkan homogenitas ketebalan film di seluruh area substrat.
- Rana Dua Sumber yang Dikendalikan Servo: sebuah rana bersama tunggal dengan aktuasi servo mengontrol inisiasi dan penghentian deposisi untuk kedua sumber termal secara bersamaan
- Kontrol Ventilasi Sekali Sentuh: sebuah tombol tunggal memulai urutan manajemen vakum otomatis, menyederhanakan akses ke ruang vakum tanpa prosedur manual bertahap.
- Antarmuka yang Ramah OperatorTata letak kontrol yang intuitif dengan tampilan yang jelas mengurangi kurva pembelajaran bagi pengguna baru dan mempercepat pengoperasian laboratorium sehari-hari.
- Platform Seluler RingkasDengan ukuran 75×120 cm dan roda yang dapat dikunci, sistem ini memberikan posisi yang stabil sekaligus memungkinkan pemindahan sistem di dalam laboratorium.
- Jarak Bebas Pintu StandarSistem ini dapat melewati pintu standar selebar 85 cm, sehingga menghilangkan hambatan pemasangan dan pemindahan di bangunan dengan lebar koridor konvensional.
- Garansi Penuh Satu TahunCakupan garansi untuk desain, material, dan pengerjaan memberikan kepercayaan kepada laboratorium akan keandalan jangka panjang dan akuntabilitas produsen.
Teori dan Metode
Penguapan termal menghasilkan lapisan tipis dengan memanaskan bahan sumber di dalam ruang vakum tinggi hingga titik penguapannya. Sumber daya listrik bertegangan rendah dan arus tinggi mengalirkan arus listrik melalui sumber resistif seperti wadah, kumparan, atau keranjang tungsten. Atom yang menguap bergerak dalam garis lurus melalui vakum dan mengembun pada permukaan substrat yang ditempatkan di atas sumber. Pada tekanan di bawah 10⁻⁵ Torr, molekul gas sisa terlalu jarang untuk menghamburkan atom uap, sehingga menghasilkan lapisan dengan kemurnian tinggi.
Sistem vakum menentukan kualitas film sama pentingnya dengan bahan sumber itu sendiri. Pompa turbomolekuler yang didukung oleh pompa mekanis mengevakuasi ruang vakum hingga tekanan dasar di bawah 10⁻⁷ Torr, mengurangi kontaminasi gas sisa hingga tingkat yang dapat diabaikan. Fungsi ventilasi dan pengisian ulang otomatis memungkinkan operator untuk mengoperasikan ruang vakum tanpa perlu mengoperasikan katup secara manual, dan mode vakum penahan menjaga lingkungan di antara proses deposisi. Catu daya 2000 W (10 V hingga 200 A) dapat mengakomodasi bahan organik dengan titik leleh rendah dan logam tahan panas bersuhu tinggi dalam satu unit.
Pengontrol deposisi dua saluran dan mikrobalance kristal kuarsa (QCM) memantau ketebalan film secara real-time. Saat massa film terakumulasi pada kristal QCM yang berosilasi, frekuensi resonansi bergeser sebanding dengan ketebalan yang diendapkan, sebuah hubungan yang diturunkan dari persamaan Sauerbrey. Pengontrol mengubah pergeseran frekuensi tersebut menjadi pembacaan ketebalan secara terus menerus tanpa mengganggu deposisi. Rotasi sampel pada 2 hingga 30 rpm mendistribusikan fluks uap secara merata di seluruh substrat, sehingga meningkatkan keseragaman.
Sistem Penguapan Termal Bell-Jar - Spesifikasi Teknis ToronEva™ Bell Jar
| Parameter | Spesifikasi |
|---|---|
| Catu Daya Penguapan Termal | 2000 W (10 V – 200 A) |
| Tekanan Dasar | 10⁻⁷ Torr |
| Tingkat Vakum Kerja (Waktu Pemompaan Henti) | 10⁻⁶ Torr dalam ≤30 menit |
| Rentang Kontrol Vakum | 1000 hingga 10⁻⁹ Torr |
| Konfigurasi Pompa | Turbomolekuler + Mekanik |
| Selang Pompa | Selang fleksibel SS316 dengan filter debu |
| Bahan Guci Lonceng | Silinder kaca Pyrex atau SS304 |
| Pelabuhan Bell-Jar | Standar 1 inci |
| Jaket Pelindung Internal | Silinder SS304 |
| Opsi Pemegang Sampel | Wafer 4 inci; lamela 1×3 inci; sampel kecil dan besar |
| Jarak Sumber ke Substrat | adjustable |
| Kecepatan Rotasi Sampel | 2 hingga 30 rpm |
| Pemantauan Ketebalan | Monitor ketebalan saluran ganda + satu QCM |
| Jumlah Standar Sumber Panas | 2 |
| Konfigurasi Sumber Opsional | 4 sumber (4×1 sekuensial atau 2×2 ko-evaporasi) |
| Shutter | Dikendalikan servo, umum untuk dua sumber panas. |
| Sistem Pendingin | Pendingin air siklus tertutup (otomatis hidup/mati) |
| Fungsi Manajemen Vakum | Ventilasi otomatis, pengisian balik, dan penahan ruang. |
| Tapak | 75 × 120 cm |
| Jarak Bebas Pintu | Dapat melewati pintu standar selebar 85 cm. |
| Mobilitas | Roda yang dapat dikunci |
| Jaminan | 1 tahun (desain, material, dan pengerjaan) |