Pelapis Sputter Vakum Tinggi dan Evaporator Karbon/Termal – DSCT-T
Pelapis Sputter Vakum Tinggi dan Evaporator Karbon/Termal – DSCT-T dirancang sebagai instrumen serbaguna untuk persiapan sampel Mikroskop Elektron Pemindaian (SEM).
Sistem ini memiliki tiga kepala yang dapat dipertukarkan, sehingga dapat berfungsi sebagai pelapis sputter, pelapis karbon, dan evaporator termal dalam satu unit. Sistem ini mampu melapisi berbagai macam material, termasuk emas (Au), paduan platina/paladium (Pt/Pd), perak (Ag), kromium (Cr), tungsten (W), iridium (Ir), dan masih banyak lagi.
Mikroskop Elektron Pemindaian (SEM) – Menyediakan lapisan konduktif berkualitas tinggi untuk mempersiapkan sampel non-konduktif untuk pencitraan detail.
SEM Emisi Medan (FE-SEM) – Menghasilkan film ultra-halus dan seragam yang dibutuhkan untuk analisis permukaan tingkat lanjut.
Analisis EDS/WDS – Menghasilkan lapisan bebas kontaminasi yang ideal untuk studi unsur dan komposisi yang presisi.
Mikroskop Elektron Transmisi (TEM) – Memungkinkan penggunaan film karbon tipis untuk kisi penyangga spesimen dan pembersihan apertur.
Difraksi Hamburan Balik Elektron (EBSD) – Menciptakan lapisan konduktif stabil yang meningkatkan kejelasan pola difraksi.
Aplikasi Penguapan Termal – Mendukung pengendapan logam dengan suhu penguapan rendah seperti Au, Ag, dan Al, berguna dalam sensor film tipis, komponen optik, mikro/nanoelektronik, dan penelitian sel surya.
Penelitian Lapisan Tipis – Memfasilitasi pengendapan logam mulia, karbon, tungsten, kromium, dan material sulit lainnya dengan ketebalan terkontrol dan ukuran butir halus.
Sampel Berpori dan Rapuh – Memberikan lapisan seragam dengan tahap rotasi planet opsional untuk melindungi struktur yang halus.
Laboratorium Akademik dan Penelitian – Sistem dual-mode serbaguna yang cocok untuk lingkungan pengajaran, pelatihan, dan penelitian multi-aplikasi tingkat lanjut.
- Pompa Turbomolekuler Vakum Tinggi dengan kecepatan 90 liter per detik (diproduksi oleh Leybold)
- Pilihan Pompa Baling-Baling Putar Dua Tahap atau pompa diafragma sebagai pompa pendukung
- Pengukur vakum lengkap (diproduksi oleh Leybold)
- Kepala penguapan serat karbon
- Kepala penguapan batang karbon
- Kepala penguapan termal
- Mode pelapisan serat karbon berdenyut atau berkedip
- Monitor ketebalan kristal kuarsa dengan presisi 1 nanometer dan resolusi 1 angstrom
- Antarmuka layar sentuh yang intuitif untuk mengontrol proses pelapisan dan input data yang mudah
- Perangkat lunak ramah pengguna yang dapat diperbarui melalui konektivitas jaringan
- Kontrol laju pelapisan yang tepat untuk mencapai struktur butiran yang lebih halus dalam proses sputtering
- Kemampuan untuk sputtering dengan waktu dan ketebalan secara manual atau otomatis
- GLAD (Glancing Angle Deposition) Kemampuan sputtering
- Fungsionalitas Pembersihan Plasma
- Kemampuan untuk merekam dan memvisualisasikan grafik parameter pelapisan
- Dilengkapi dengan rana elektronik
- Tahapan spesimen yang mudah diubah, dengan opsi rotasi standar atau rotasi planet
- Dilindungi oleh garansi dua tahun
- Cakupan asuransi tanggung jawab publik dan produk di seluruh dunia jika terjadi kerusakan properti atau cedera pribadi akibat penggunaan sistem Vac Coat.
Penguapan Karbon DSCT-T
Sistem pelapisan berukuran mini, model DSCT-T (DSCT dengan Thermal Evaporator), mampu melapisi karbon untuk menghasilkan lapisan tipis yang seragam pada berbagai permukaan menggunakan serat karbon (atau opsional, batang karbon). Dengan mengalirkan arus listrik melalui serat karbon dalam mode berdenyut atau berkedip, penguapan karbon disimpan ke sampel. Proses ini secara efektif mengurangi jumlah puing yang biasanya terkait dengan metode pengendapan karbon tradisional.
Penguapan Termal
DSCT-T, Sputter Coater, dan Carbon/Thermal Evaporator, dilengkapi dengan kepala termal yang dirancang untuk penguapan logam dengan suhu penguapan rendah, seperti emas, aluminium, perak, dan banyak lagi. Kepala termal ini memiliki tujuan ganda, memungkinkan pengendapan logam-logam ini dan memfasilitasi pembersihan lubang TEM (Transmission Electron Microscopy).
Proses penguapan termal mengakomodasi berbagai aplikasi. Misalnya, dapat digunakan dalam fabrikasi film logam, produksi sensor film tipis, pembuatan komponen optik, dan melayani kebutuhan industri nano dan mikroelektronika, serta aplikasi sel surya.
Tahapan Sampel
DSCT-T menawarkan fleksibilitas berbagai konfigurasi tahapan sampel untuk memenuhi kebutuhan spesifik pengguna. Tahapan sampel ini dirancang agar dapat diputar dan disesuaikan ketinggiannya, memberikan kemudahan penggunaan dan kemampuan beradaptasi. Untuk mencapai lapisan seragam pada spesimen berpori, pilihan sistem rotasi planet sampel tersedia dan sangat direkomendasikan.
Selain itu, kepala termal Pelapis SEM Vakum Tinggi ini juga dapat digunakan untuk membersihkan lubang TEM dan SEM. Dilengkapi dengan Pompa Turbomolekuler, pelapis ini mampu menghasilkan film seragam berkualitas tinggi dengan ukuran butiran halus. Atribut ini membuatnya cocok untuk spesimen yang memerlukan karakterisasi resolusi tinggi dan berkualitas tinggi, termasuk FE-SEM, EDS/WDS, TEM, dan EBSD.
DSCT-T, yang dikenal sebagai Sputter Coater dan Carbon/Thermal Evaporator, dilengkapi dengan katoda magnetron 2”, catu daya DC switching tegangan tinggi untuk sputtering, dan catu daya arus tinggi untuk evaporasi karbon dan evaporasi termal. Ini adalah alat yang berharga untuk penelitian dan berbagai aplikasi film tipis di berbagai bidang seperti elektronik mikro dan nano dan persiapan sampel.
- Vakum Tertinggi: Kurang dari 7 x10-7 torr
- Kontrol laju sputtering yang tepat untuk mencapai struktur butiran yang lebih halus
- Kontrol daya otomatis untuk sputtering tidak bergantung pada tekanan
- Merencanakan parameter pelapisan secara real-time
- Kemampuan untuk merekam dan menghasilkan grafik parameter pelapisan
- Transfer kurva dan proses deposisi data yang nyaman melalui port USB ke PC
- Dilengkapi dengan rana elektronik
- Ruang vakum dengan dimensi OD 170 mm x 140 mm
- Utilitas yang sesuai: 220V-240V, 50/60HZ, 16A
- Berat Pengiriman: 42 kg
Pilihan dan Aksesori
Desk Sputter Coater – DSCT-T menawarkan serangkaian opsi dan aksesori untuk meningkatkan kemampuannya:
- Kepala penguapan karbon untuk serat dan karbon batang
- Kepala penguapan termal
- Catu daya arus tinggi
- Sensor kristal kuarsa
- Sistem rotasi sampel planet
- Ruang kaca cadangan
- Sputtering target
- Pilihan Serat Karbon atau Batang Karbon
- Penyegelan gasket
- Sumber penguapan termal (perahu/keranjang)