Machine de pulvérisation pulvérisée/thermalévaporateur à cible double magnétron sous vide poussé-DST2-TG
L'appareil de revêtement par pulvérisation cathodique à double magnétron/thermalévaporateur-DST2-TG, ou appareil de pulvérisation à pompe turbo à double cible et évaporateur thermique, est un système de revêtement de pointe qui fusionne de manière transparente l'évaporation thermique et le revêtement par pulvérisation dans une seule unité de bureau compacte. . Cette technologie polyvalente offre un contrôle du système à distance via une connexion Wi-Fi pratique, permettant aux utilisateurs de gérer les opérations sans effort via un écran tactile convivial ou leur PC.
Le DST2-TG, un système de pulvérisation cathodique magnétronique de bureau de pointe, est doté d'une chambre spacieuse (300 mm de diamètre) et de deux cathodes refroidies à l'eau de 2 pouces de diamètre, ce qui le rend idéal pour les dépôts de longue durée. Ce système polyvalent constitue une plateforme unique pour la pulvérisation cathodique, le dépôt de fibres de carbone et l'évaporation de métaux.
Conçu spécifiquement pour une utilisation en boîte à gants, ce pulvérisateur cathodique de bureau permet de pulvériser efficacement des semi-conducteurs, des diélectriques et des cibles métalliques. L'utilisateur peut installer indifféremment ou simultanément des cathodes de pulvérisation et des creusets d'évaporation thermique, ce qui lui offre jusqu'à trois sources de dépôt.
De plus, le dépôt de carbone est possible grâce à l'utilisation de fibres de carbone, élargissant ainsi la gamme des matériaux de dépôt disponibles.
Ce système de revêtement sous vide de haute précision est conçu pour être semi-automatisé ou entièrement automatisé. Il est doté d'un écran tactile couleur de 7 pouces convivial permettant de contrôler et d'ajuster les paramètres du processus de dépôt. Son interface logicielle intuitive simplifie son utilisation. Les utilisateurs peuvent également accéder à l'interface de contrôle depuis leur ordinateur via une connexion Wi-Fi.
Le système permet de contrôler les niveaux de vide et les informations relatives à la séquence de revêtement, qui peuvent être affichées sous forme de données numériques ou de courbes sur l'écran tactile. De plus, les 300 derniers revêtements sont enregistrés et accessibles dans l'historique du système.
Produit : DST2-TG, appareil de revêtement sous vide à écran tactile. Cet appareil de pulvérisation cathodique et d’évaporation thermique pour applications en boîte à gants peut être complété par des options, notamment :
- Alimentation RF avec un boîtier d'adaptation auto-ajustable pour minimiser la puissance réfléchie dans le processus de pulvérisation RF.
- Nettoyant plasma pour éliminer efficacement les matières organiques de la surface du substrat avant le dépôt d'une couche mince.
- Fusion d'une coucheuse par pulvérisation cathodique et d'un évaporateur thermique conçu pour le montage en boîte à gants
- Équipé d'une pompe turbomoléculaire intégrée pour des performances de vide efficaces
- Chambre spacieuse d'un diamètre de 30 cm et d'une hauteur de 20 à 25 cm
- Installation de la cible simplifiée et rapide ; aucun porte-cible requis
- Conduction thermique améliorée facilitée par des cibles avec plaques de support
- Porte-échantillon conçu pour la rotation, favorisant un revêtement uniforme
- Traversées KF40 montées sur la boîte à gants pour alimentations (DC, RF, courant élevé), tuyau de pompe à vide, refroidissement par eau, connexions argon/gaz réactif et connexions électriques
- Contrôle précis de l'injection de gaz grâce aux contrôleurs de débit massique (MFC)
- Intègre deux capteurs d'épaisseur à cristaux de quartz de haute précision pour une surveillance précise de l'épaisseur du film
- Les produits Vac Coat sont globalement couverts par une assurance responsabilité civile et produit complète, fournissant une assurance contre les dommages matériels ou les blessures corporelles résultant de l'utilisation des systèmes Vac Coat.
Fonctionnalités d'automatisation :
- Processus de revêtement semi-entièrement automatique (facultatif) : Le système offre la flexibilité des processus de revêtement automatisés ou semi-automatisés, permettant aux utilisateurs de choisir le niveau d'automatisation en fonction de leurs besoins.
- Saisie et stockage efficaces des données : Saisie rapide des données pour les paramètres du processus de dépôt, améliorant ainsi l'efficacité du flux de travail. Stockage sécurisé des données du processus de dépôt pour une récupération et une référence faciles.
- Contrôle de processus à distance : Le processus de dépôt peut être contrôlé et surveillé à distance via un PC via une connexion Wi-Fi, offrant commodité et flexibilité.
- Stockage des recettes de revêtement : Possibilité de stocker des recettes de revêtement, permettant la réplication de processus de dépôt spécifiques pour des résultats cohérents et reproductibles.
- Volets électroniques : Incorporation d'obturateurs électroniques pour un contrôle précis du processus de revêtement et pour gérer l'exposition du substrat pendant le dépôt.
- Sélection automatisée des cathodes : Sélection automatisée des cathodes, rationalisant le processus et garantissant des conditions de dépôt optimales en fonction des exigences des matériaux.
Installations optionnelles :
- Pulvérisation RF pour le dépôt de cibles non conductrices (facultatif) : Intégration de la capacité de pulvérisation RF pour faciliter le dépôt de cibles non conductrices, élargissant ainsi la gamme de matériaux pouvant être recouverts.
- Nettoyeur plasma (facultatif) : Possibilité d'inclure un nettoyeur plasma pour éliminer efficacement la matière organique de la surface du substrat avant le dépôt d'une couche mince, garantissant ainsi un substrat propre pour une qualité de revêtement supérieure.
Conçu pour fonctionner dans un environnement de vide poussé, ce système est conçu pour déposer un large éventail de matériaux, ce qui en fait un choix incontournable pour diverses applications de revêtement. La coucheuse par pulvérisation cathodique à double magnétron offre la flexibilité nécessaire pour basculer de manière transparente entre le dépôt par évaporation et par pulvérisation cathodique, facilitant ainsi la création de revêtements multicouches complexes.
Découvrez la quintessence de l'efficacité et de la précision avec le DST2-TG, une solution tout-en-un qui révolutionne les processus de revêtement dans une boîte à gants.
Les systèmes de boîtes à gants créent un environnement sécurisé pour les matériaux délicats, empêchant ainsi l'exposition à l'air, à l'humidité et aux interactions indésirables. Le système de revêtement sous vide poussé DST2-TG intégré à une boîte à gants garantit une manipulation sûre et propre des substrats avant ou après le processus de dépôt, le tout dans une atmosphère de gaz inerte. Cette configuration fournit un environnement de chambre contrôlé avec précision, permettant un dépôt précis de couches minces ultra-pures dans des conditions de vide poussé.
