Pulvérisateur de bureau à cible à magnétron unique, vide poussé, DST1-170
L'appareil de pulvérisation de bureau à cible unique à magnétron sous vide poussé DST1-170 est configuré comme un appareil de pulvérisation de bureau, spécialement conçu pour la préparation d'échantillons au microscope électronique à balayage (MEB). Le DST1-170 est polyvalent, capable de déposer une large gamme de matériaux, notamment l'or (Au), l'alliage platine/palladium (Pt/Pd), l'argent (Ag), le chrome (Cr), le tungstène (W), l'iridium (Ir). , et plus.
Le DST1-170 excelle dans la production de films uniformes de haute qualité avec des granulométries fines. Ces films sont idéaux pour les échantillons qui exigent une caractérisation haute résolution et de haute qualité, tels que les applications FE-SEM, EDS/WDS, TEM et EBSD. Équipé d'une cathode magnétron de 2 pouces et d'une alimentation CC à découpage de 80 watts, le DST1-170 convient à diverses applications de recherche et de couches minces.
- Réalisation d'un dépôt structurel à grains fins pour la préparation d'échantillons SEM et FE-SEM
- Applications nano et microélectroniques
- Fabrication de cellules solaires
- Revêtement de composants optiques
- Développement de capteurs à couches minces
- Pompe turbomoléculaire à vide poussé d'une capacité de 90 L/S (Leybold)
- Pompe à vide à palettes rotatives à deux étages servant de pompe d'appoint
- Vacuomètre à gamme complète (Leybold)
- Vanne papillon ISO-KF 63
- Alimentation CC évaluée à 80 watts
- Moniteur d'épaisseur de cristal de quartz avec une précision de 1 nanomètre et une résolution de 1 Ångström
- Interface tactile intuitive pour un contrôle facile du processus de revêtement et une saisie rapide des données
- Logiciel convivial avec capacité de mise à jour du réseau
- Fonctionnalité de contrôle pour ajuster le taux de revêtement afin d'obtenir des structures à grains plus fins
- Offre des options de pulvérisation minutée et d'épaisseur manuelles et automatiques
- Capacité de pulvérisation GLAD (Glancing Angle Deposition)
- Fonctionnalité de nettoyage au plasma
- Possibilité d'enregistrer et de tracer des graphiques de paramètres de revêtement
- Equipé d'un obturateur électronique
- Platines à échantillons facilement interchangeables, avec une platine de rotation incluse en standard
- Appuyé par une garantie de deux ans
- Les produits Vac Coat sont globalement couverts par une assurance responsabilité civile et du produit, assurant une protection en cas de dommages matériels ou de blessures corporelles causés par les systèmes Vac Coat.
Nettoyer l'aspirateur de la machine de pulvérisation de bureau
La chambre à vide est en Pyrex cylindrique. Le DST1-170 est équipé d'une pompe turbomoléculaire de 90 L/s montée en interne, soutenue par une pompe à palettes rotatives à deux étages de 4 m³/h. Cette configuration garantit un environnement de vide propre, exempt de la contamination par l'huile généralement associée aux pompes à diffusion standard.
Contrôle de l'écran tactile
Le DST1-170 dispose d'une interface à écran tactile couleur de 7 pouces avec contrôle entièrement automatique et saisie de données conviviale, le rendant accessible même aux utilisateurs inexpérimentés. Les utilisateurs peuvent facilement faire fonctionner le système via l'écran tactile, où les niveaux de vide, le courant et les informations de dépôt peuvent être visualisés sous forme de données numériques ou affichées sous forme de courbes. De plus, le système peut stocker des informations sur les 300 derniers revêtements, accessibles sur la page historique à titre de référence.
- Vide ultime : moins de 7 x 10^-7 Torr
- Contrôle précis du taux de pulvérisation pour obtenir des structures de grains plus fines
- Contrôle indépendant de la puissance de pulvérisation, quelle que soit la pression
- Vanne de fuite électronique pour gaz Argon
- Possibilité d'enregistrer et de tracer des graphiques de paramètres de revêtement
- Transfert pratique des courbes et des données de processus de dépôt via le port USB vers un PC
- Exigences d'alimentation : 220 V-240 V, 50/60 Hz, 16 A.
- Poids d'expédition : 36 kilogrammes
Options et accessoires :
- Cristal de quartz
- Rotation de l'échantillon planétaire
- Chambre en verre de rechange
- Cibles de pulvérisation
- Des joints d'étanchéité
