Machine de pulvérisation de bureau - DSR1
Le Desk Sputter Coater - DSR1 est un système de revêtement compact capable d'appliquer des films minces de métaux nobles comme l'or (Au), le palladium (Pd), le platine (Pt) et l'or/palladium (Au/Pd) sur des surfaces non conductrices ou mal spécimens conducteurs. Il excelle dans la production de films minces uniformes avec des grains fins en un temps de cycle rapide.
Le film mince obtenu est idéal pour l’analyse par microscopie électronique à balayage (MEB). Le Desk Magnetron Coater est un outil très efficace qui garantit des résultats cohérents et reproductibles de manière fiable au sein d’un système entièrement automatisé. Sa conception ergonomique et son encombrement réduit le rendent convivial et facile à utiliser.
Microscopie électronique à balayage (MEB) – Produit des revêtements conducteurs à grains fins sur des échantillons non conducteurs pour éliminer la charge et améliorer la qualité d'image.
Recherche en sciences des matériaux – Permet le dépôt uniforme de films de métaux nobles pour l'analyse structurale et de surface des polymères, des céramiques et des composites.
Nanotechnologie – Prépare des échantillons avec des revêtements minces et uniformes pour une caractérisation à l'échelle nanométrique.
Life Sciences et études biologiques – Enrobe les échantillons biologiques pour améliorer le contraste et la stabilité lors de l'observation au MEB.
Quality Control et R&D industrielle – Garantit des revêtements en couches minces reproductibles pour les applications de fabrication et de test de produits.
Applications du nettoyage plasma – Élimine les contaminants de surface, améliorant l'adhérence du revêtement et la précision analytique.
Laboratoires d'enseignement et de formation – Offrent une plateforme fiable et conviviale pour la préparation d'échantillons MEB en milieu universitaire.
- Pompe à palettes rotative à entraînement direct à deux étages d'une capacité de 4 m³/h
- Moniteur d'épaisseur de cristal de quartz de haute précision
- Interface tactile intuitive pour un contrôle facile du processus de revêtement et une saisie rapide des données
- Logiciel convivial avec capacité de mise à jour du réseau
- Contrôle précis du taux de revêtement pour obtenir des structures de grains plus fines
- Options de pulvérisation chronométrée et d'épaisseur manuelle ou automatique
- Capacité de pulvérisation GLAD
- Fonctionnalité de nettoyage au plasma
- Platines à échantillons facilement interchangeables (rotation planétaire ou platine de rotation incluse en standard)
- Appuyé par une garantie de deux ans
- Conformité CE pour le respect de la sécurité
- Couverture mondiale d'assurance responsabilité civile et de produits, assurant une protection en cas de dommages matériels ou corporels causés par les systèmes Vac Coat.
Contrôle par écran tactile avec affichage coloré
La coucheuse par pulvérisation de bureau est dotée d'une interface à écran tactile couleur de 7 pouces avec un contrôle entièrement automatique et une saisie de données conviviale, la rendant accessible même aux utilisateurs inexpérimentés. Les utilisateurs peuvent facilement faire fonctionner le système via l'écran tactile, où les niveaux de vide, le courant et les informations de dépôt peuvent être visualisés sous forme de données numériques ou affichées sous forme de courbes. De plus, le système peut stocker des informations sur les 300 derniers revêtements, accessibles à titre de référence dans la page historique.
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Porte-échantillon
Le DSR1 propose différentes configurations de porte-échantillons pour répondre aux besoins des utilisateurs. Le porte-échantillons standard est rotatif et offre des réglages de hauteur et d'angle ajustables, permettant une personnalisation aisée. Pour obtenir un revêtement uniforme sur des échantillons poreux, le porte-échantillons planétaire rotatif est recommandé.
Principes du dépôt physique en phase vapeur (PVD)
Si vous passez vos journées à analyser des échantillons au MEB ou au MET, vous savez qu'un système de revêtement fiable est essentiel pour l'imagerie de haute précision. Pour un rapport qualité-prix optimal, le système de revêtement par pulvérisation cathodique de bureau Torontech DSR1 fonctionne par dépôt physique en phase vapeur (PVD).
Imaginez un échange à très grande vitesse où des ions argon surchargés percutent une cible métallique solide. Ce bombardement libère de minuscules atomes de métal qui, traversant le vide, forment une couche ultra-mince et parfaitement uniforme sur votre échantillon.
Ce processus est appelé cascade de collisions. Lorsque les ions argon percutent la cible métallique, ils y transfèrent leur énergie par une série d'impacts. Les atomes métalliques de surface sont éjectés, garantissant ainsi un transfert de matière propre et prévisible sur l'objet inspecté.
Technologie de génération de plasma et de magnétron
Pour accélérer ces ions, le DSR1 crée une décharge luminescente dans un environnement à basse pression. Entraîné par une pompe à palettes rotatives à entraînement direct à deux étages (capacité de 4 m³/h), il génère un vide poussé inférieur à 40 millitorrs. L'application d'une charge négative à la cible métallique dans un vide rempli d'argon produit un nuage de plasma dense.
Alors que la charge CC de base permet une préparation standard pour MEB, le DSR1 intègre une cathode magnétron de 5 cm (2 pouces) pour un grain ultrafin, quasi invisible. Cet ajout ingénieux optimise considérablement le processus. Nous avons également intégré un nettoyage plasma pour éliminer les contaminants de surface avant même le contact avec le métal, garantissant ainsi des résultats nets et impeccables pour l'imagerie haute résolution.
Contrôle de précision des processus
L'utilisation de ce système de pulvérisation cathodique de bureau implique le réglage de quelques paramètres essentiels pour contrôler la vitesse et l'épaisseur du dépôt. En ajustant ces paramètres sur l'écran tactile couleur intuitif de 7 pouces, vous optimisez la qualité tout en respectant votre budget.
- Le coup de pouce énergétique (tension/courant) : Contrôlez vos entrées pour déterminer la force avec laquelle ces ions frappent la cible.
- Mélange gazeux et pression : L'utilisation d'argon pur, associée à une valve de fuite électronique de précision, évite les revêtements granuleux ou irréguliers.
- L'angle parfait : Le DSR1 comprend des platines porte-échantillons interchangeables (comme la platine planétaire rotative) et le GLAD (dépôt en angle rasant) pour garantir que chaque recoin microscopique est uniformément couvert.
- Surveillance des dépôts : Le moniteur d'épaisseur à cristal de quartz haute précision intégré permet une pulvérisation manuelle ou entièrement automatique, en fonction de l'épaisseur exacte. Il enregistre vos 300 dernières opérations et transfère les courbes de processus vers votre PC via USB.
Optimisation des matériaux cibles et de la microscopie
La qualité de vos observations microscopiques dépend fortement du métal noble placé dans la chambre cylindrique en Pyrex de 170 mm du DSR1. Envelopper votre échantillon d'une fine pellicule métallique empêche l'accumulation d'électricité statique sur les objets non conducteurs et fait ressortir les détails de surface au microscope.
Selon votre analyse, vous pouvez facilement intervertir les cibles :
- Or (Au) et or/palladium (Au/Pd) : Le choix classique. Hautement conductrices et dotées d'une texture ultra-fine, elles sont parfaitement adaptées aux échantillons biologiques.
- Platine (Pt) et iridium (Ir) : Ces produits offrent une finition incroyablement lisse, ce qui est exactement ce dont vous avez besoin pour des clichés MEB-FE à ultra-haute résolution.
- Argent (Ag) : Offre une excellente conductivité pour des applications spécifiques en science des matériaux nécessitant une surface réfléchissante, sans le coût de l'or.
En préparant vos couches métalliques avec une certitude absolue grâce à ce pulvérisateur cathodique de bureau, vous garantissez que vos échantillons seront prêts à révéler chaque détail, même le plus infime.
Ces spécifications fournissent des informations détaillées sur la taille, le poids, la puissance requise et les principales fonctionnalités du produit.
- Dimensions de la chambre : diamètre extérieur (OD) de 170 mm x cylindre en Pyrex de 140 mm
- Dimensions hors tout : 47 cm de hauteur x 46 cm de largeur x 37 cm de profondeur
- Poids d'expédition (pompe à vide incluse) : 42 kg
- Exigences d'alimentation : 220 V-240 V, 50/60 Hz, 10 A.
- Alimentation à découpage CC de 80 watts
- Moniteur d'épaisseur de haute précision
- Vide ultime : moins de 40 millitorr
- Cathode magnétron de 2 pouces
- Obturateur électronique
- Vanne de fuite électronique
- Transfert de données via port USB pour les courbes et les données de processus de pulvérisation vers un PC
Options et accessoires
Ce sont les accessoires et composants en option qui peuvent être utilisés avec le système.
- Capteurs à cristaux de quartz
- Rotation des échantillons planétaires
- Chambre en verre de rechange
- Cibles de pulvérisation
- Des joints d'étanchéité
