Σύστημα ψεκασμού μαγνητρονίου
Το σύστημα μαγνητρονικού ψεκασμού ToronSP-400 είναι ένα σύστημα εναπόθεσης φυσικού ατμού (PVD) τύπου κουτιού σχεδιασμένο με πρισματικούς ή κυλινδρικούς θαλάμους κενού. Διαθέτει 1 έως 4 πηγές ψεκασμού DC/RF, επιτρέποντας την εναπόθεση λεπτών μεμβρανών πολλαπλών στρώσεων χρησιμοποιώντας έως και τέσσερα διαφορετικά υλικά.
Το σύστημα ψεκασμού ToronVak μπορεί να προσαρμοστεί ώστε να καλύπτει τις απαιτήσεις των χρηστών, επιτρέποντας την παραγωγή πολυστρωματικών μεταλλικών μεμβρανών, οξειδίων, καρβιδίων ή νιτριδίων σε νανοκλίμακα. Συμβατά υλικά περιλαμβάνουν Ni, Fe, Au, Zr, Ti, Si, SiO₂, ZnO, TiO₂, Si₃N₄, SiC και άλλα.
Ημιαγωγοί & Μικροηλεκτρονική - Εναπόθεση λεπτών πολυστρωματικών μεμβρανών για ολοκληρωμένα κυκλώματα, αισθητήρες και οπτοηλεκτρονικές συσκευές, εξασφαλίζοντας υψηλή ακρίβεια και ομοιομορφία σε νανοκλίμακα.
Επιστήμη Υλικών & Νανοτεχνολογία - Ανάπτυξη προηγμένων επιστρώσεων όπως μεταλλικές, οξειδικές, καρβιδικές και νιτριδικές μεμβράνες για έρευνα, πρωτοτυποποίηση και καινοτομία λειτουργικών υλικών.
Οπτική & Φωτονική - Κατασκευή αντιανακλαστικών, αγώγιμων και διηλεκτρικών επιστρώσεων σε οπτικά εξαρτήματα, λέιζερ και φωτονικές συσκευές για βελτιωμένη απόδοση.
Ενέργεια & Ανανεώσιμες Τεχνολογίες - Παραγωγή επιστρώσεων λεπτής μεμβράνης για ηλιακά στοιχεία, στοιχεία καυσίμου και συσκευές αποθήκευσης ενέργειας, ενισχύοντας την απόδοση και την ανθεκτικότητα.
Αεροδιαστημική και Αυτοκινητοβιομηχανία - Εφαρμογή επιστρώσεων ανθεκτικών στη φθορά, στη διάβρωση και σε θερμικά φραγμένες επιφάνειες σε κρίσιμα εξαρτήματα για βελτιωμένη αξιοπιστία υπό ακραίες συνθήκες.
Υπηρεσίες Μηχανικής Επιφανειών & Επίστρωσης - Ακριβής εναπόθεση λεπτών μεμβρανών σε διάφορα υποστρώματα για βιομηχανικές εφαρμογές, κατασκευή πρωτοτύπων και εξειδικευμένα έργα επίστρωσης βάσει συμβάσεων.
Έρευνα & Ανάπτυξη - Ευέλικτη πλατφόρμα για πανεπιστήμια, εργαστήρια και εταιρικά κέντρα έρευνας και ανάπτυξης για την εξερεύνηση νέων υλικών, τεχνικών εναπόθεσης και διαδικασιών πολυστρωματικής επίστρωσης.
- Πλήρως αυτοματοποιημένος έλεγχος με οθόνη αφής – Οθόνη LCD σε πραγματικό χρόνο για απρόσκοπτη λειτουργία
- Θάλαμος κενού υψηλής ποιότητας – Πρισματικός ή κυλινδρικός θάλαμος SS304 με ηλεκτρογυαλισμένες επιφάνειες· διαθέσιμος σε μεγέθη 30, 40, 50 και 60 cm
- Βελτιωμένη ορατότητα και πρόσβαση – Μπροστινό παράθυρο θέασης και περιστρεφόμενο κλείστρο
- Ευέλικτη συνδεσιμότητα – Τυπικές θύρες 1", QF, CF και ISO
- Βελτιστοποιημένα Εσωτερικά Συστήματα – Ενσωματωμένο σύστημα φωτισμού και ψησίματος (έως 120°C)
- Επιλογές τροφοδοσίας – RF: 13.6 MHz, 300-1200 W | DC: 0-1000 V, 2000 W
- Υψηλή απόδοση κενού – Πίεση βάσης: 10⁻⁸ Torr | Επιτυγχάνει 2x10⁻⁶ Torr σε 20 λεπτά
- Προηγμένο σύστημα άντλησης – Στροβιλομοριακή + μηχανική αντλία· διαθέσιμη κρυο και ξηρή αντλία
- Έλεγχος κενού ευρέος φάσματος – Παρακολούθηση ακριβείας Torr 1000 - 10⁻⁹
- Προσαρμόσιμη επεξεργασία δειγμάτων – Θέρμανση ελεγχόμενη από PID (50-700°C) και ρυθμιζόμενη περιστροφή δείγματος (2-30 στροφές/λεπτό)
- Μονάδα καθαρισμού πλάσματος – Καθαρισμός πλάσματος RF μέσω πόλωσης RF
- Αποτελεσματικό σύστημα ψύξης – Αυτόματη εκκίνηση-παύση, ψύξη νερού κλειστού βρόχου
- Έλεγχος ακριβείας επίστρωσης – Μέτρηση ρυθμού πάχους διπλού καναλιού (0,1 Å/s) με 1-4 QCM
- Ευέλικτες επιλογές ψεκασμού – 1-4 πηγές ψεκασμού μαγνητρονίου DC/RF (1”, 2”, 3”, 4”)
- Διαχείριση Ροής Αερίου – Είσοδοι ελεγχόμενες από μετρητή ροής μάζας (Ar, N₂, O₂, He, CH₄, H₂) με έλεγχο πραγματικού χρόνου 3 καναλιών
- Κανονισμός πίεσης – Βαλβίδες πεταλούδας, εξαερισμού και απομόνωσης για ακριβή ρύθμιση πίεσης (1 - 100 mTorr)
- Βελτιστοποιημένος κύκλος πειράματος – Χρόνος κύκλου 1.5 ώρας
- Διατήρηση κενού – Παραμένει υπό κενό με βαλβίδα απομόνωσης όταν δεν χρησιμοποιείται
- Έξυπνος έλεγχος υπολογιστή – Αυτοματοποίηση βασισμένη στο LabVIEW για πολυστρωματικές επιστρώσεις
- Πρόσθετη παρακολούθηση ακριβείας – Μανόμετρο χωρητικότητας για ακριβή μέτρηση της πίεσης πλάσματος
- Συμπαγής και φορητός σχεδιασμός – Διαστάσεις 75x120 cm με κλειδώσιμες ρόδες, χωράει μέσα από τυπικές πόρτες
- Αξιόπιστη κατασκευή – Εγγύηση ενός έτους που καλύπτει το σχεδιασμό, τα υλικά και την κατασκευή