Kohlenstoffbeschichtungsanlage mit Turbopumpe und thermischer Verdampfer – DCT-T-300
Turbogepumpter Kohlenstoffbeschichter und thermischer Verdampfer – DCT-T-300 ist mit einer großen Kammer ausgestattet und eignet sich daher perfekt für die Vorbereitung von Proben für FE-SEM, EDS/WDS, TEM, EBSD-Analyse und Dünnschichtanwendungen. Dieser Beschichter arbeitet unter Hochvakuumbedingungen und gewährleistet die Abscheidung gleichmäßiger Kohlenstoff- und Metallfilme mit feiner Körnung. Diese Eigenschaften machen ihn ideal für Proben, die eine hochauflösende und qualitativ hochwertige Charakterisierung erfordern.
Der Turbo Pumped Carbon Coater und Thermal Evaporator – DCT-T-300 verfügt über eine zylindrische Kammer mit einem Durchmesser von 300 mm, die eine langfristige Abscheidung auf Proben mit bis zu 15 cm Durchmesser oder mehreren kleinen Proben ermöglicht. Sein vollautomatischer, programmierbarer Kohlenstoffbeschichtungsprozess gewährleistet eine einfache, präzise und wiederholbare Leistung.
Darüber hinaus bietet diese Beschichtungsmaschine den Vorteil der thermischen Verdampfung von Materialien mit niedrigem Schmelzpunkt in zwei Richtungen – nach oben oder nach unten. Der Abstand zwischen der Wärmequelle und dem Substrat ist einstellbar, was ihre Vielseitigkeit weiter erhöht.
Der Turbo Pumped Carbon Coater und Thermal Evaporator – DCT-T-300 erleichtert die Abscheidung von Kohlenstofffilmen, die für die Probenvorbereitung von SEM, FE-SEM, EDX und TEM maßgeschneidert sind. Er unterstützt auch die Erzeugung von leitfähigen Schichten. Darüber hinaus haben Benutzer die Möglichkeit, eine TEM-Gitterplasmabehandlung zur Verbesserung der Hydrophilie durchzuführen. Darüber hinaus ermöglicht das System die Reinigung von TEM-Öffnungen mithilfe des thermischen Quellenhalters.
- SEM- und FE-SEM-Probenvorbereitung – Bildet gleichmäßige Kohlenstoffschichten für hochauflösende Bildgebung und präzise mikrostrukturelle Analysen.
- EDS/WDS-Elementaranalyse – Produziert feinkörnige leitfähige Filme zur Verbesserung der Leistungsfähigkeit der Röntgenmikroanalyse.
- TEM- und EBSD-Studien – Bietet ultradünne, gleichmäßige Beschichtungen, die Anwendungen in der Kristallographie und Transmissionselektronenmikroskopie unterstützen.
- Dünnschichtabscheidung – Ermöglicht die thermische Verdampfung von niedrigschmelzenden Metallen in Aufwärts- oder Abwärtsrichtung für vielseitige Beschichtungsanforderungen.
- TEM-Gitterbehandlung – Ermöglicht die Plasmabehandlung von TEM-Gittern zur Verbesserung der Hydrophilie und der Bildqualität.
- Aperturreinigung – Unterstützt die Reinigung der TEM-Apertur mit dem integrierten Wärmequellenhalter, wodurch die Lebensdauer und die Einsatzfähigkeit des Instruments verlängert werden.
Hardware
- Hohes Vakuumniveau wird durch eine eingebaute Turbopumpe von Leybold erreicht, unterstützt durch eine zweistufige Drehschieber-Vorpumpe, die in den Varianten Membran- oder Scrollpumpe erhältlich ist.
- Ein optionales internes 500-W-Gleichstrom-Schaltnetzteil für die Kohlenstofffaserabscheidung.
- Ein externes 1.2 kW-Hochstrom-Gleichstromnetzteil, geeignet für die Metallverdampfung und Kohlenstoffstababscheidung.
- Ein Quarzkristall-Dickenmonitor mit einer Präzision von 1 nm und einer Auflösung von 1 Å zur genauen Überwachung der Ablagerungsdicke.
- Ein automatisches Entlüftungsventil zum kontrollierten Ablassen des Vakuumdrucks.
- Einstellbare Probendrehung, -höhe und -neigung, speziell für kleine Probenhaltertische konzipiert.
- Ein optionaler Planetenprobenhalter für mehr Vielseitigkeit.
- Zwei Hochstromdurchführungen zum einfachen Einführen von Wärmequellen.
- Ein beweglicher Halter für die Wärmequelle, der Ablagerungskonfigurationen nach oben oder unten ermöglicht.
- S-Clip-Probenhalter am Thermokopf erleichtern die Aufwärtsablagerung.
- Ein elektronischer Verschluss zur präzisen Kontrolle der Abscheidungsprozesse.
- Leicht austauschbare Probentische, ein Rotationstisch ist standardmäßig im Lieferumfang enthalten.
- Zwei Jahre Garantie und Einhaltung der CE-Konformitätsnormen.
- Weltweiter Versicherungsschutz sowohl im Rahmen der Betriebs- als auch der Produkthaftpflichtversicherung, der Schutz vor Sach- und Personenschäden gewährleistet.
Automation
- Eine intuitive Touchscreen-Oberfläche ermöglicht die einfache Steuerung des Beschichtungsprozesses und die schnelle Dateneingabe.
- Benutzerfreundliche Software, die für kontinuierliche Verbesserungen und Kompatibilitätserweiterungen über das Netzwerk aktualisiert werden kann.
- Optionaler halbvollautomatischer Beschichtungsprozess für mehr Effizienz.
- Die Möglichkeit wiederholbarer und programmierbarer Kohlenstoffbeschichtungsprozesse im Automatikmodus gewährleistet gleichbleibende Ergebnisse.
- Optionale gepulste oder Blitz-Kohlefaser-Beschichtungsmodi für spezielle Anwendungen.
- Optionale gepulste oder rampenförmige Kohlestabbeschichtungsmodi zur Erfüllung spezifischer Anforderungen.
- Automatische Kohlefaser-/Stangen-/Wärmeabscheidung basierend auf dem eingestellten Dickenwert, wodurch der Prozess optimiert wird.
- Aufzeichnen und Darstellen von Diagrammen der Beschichtungsparameter zur Analyse und Optimierung.
- Speicherung von Beschichtungsrezepten für einfachen Zugriff und wiederholbare Ablagerungen, was Effizienz und Konsistenz fördert.
GEPULSIERTE KOHLENSTOFFFASERVERDAMPFUNG
- Führt die gepulste Kohlenstofffaserverdampfung mit kurzen, kontrollierten Impulsen durch.
- Verbessert die Kontrolle der Abscheidung im Vergleich zu herkömmlichen Methoden.
- Minimiert Ablagerungen und sorgt für sauberere Beschichtungsergebnisse.
Kohlestabverdampfung (optional)
- Optionaler Kohlenstoffstabkopf für alternative Beschichtungsmethoden.
- Benötigt ein externes Hochstromnetzteil mit 0–100 A.
- Bietet Flexibilität, die über die Verdampfung von Kohlenstofffasern hinausgeht.
THERMISCHE VERDAMPFUNG
- Ausgestattet mit einer resistiven Wärmeplattform für hohe Ströme und niedrige Spannungen.
- Verarbeitet ein breites Spektrum an Materialien mit präziser Beschichtungskontrolle.
- Unterstützt verschiedene Quellentypen: Boote, Körbe und Spulen.
Staubsauger
- Zylindrische Pyrex-Kammer: 300 mm Durchmesser × 200 mm Höhe.
- Eine interne Turbomolekularpumpe gewährleistet ein kontaminationsfreies Vakuum.
- Optionale Drehschieberpumpe mit 6 m³/h für verbesserte Leistung.
- Verhindert den bei Diffusionspumpen häufig auftretenden Ölrückfluss.
TOUCHSCREEN-STEUERUNG
- 7-Zoll-Farb-Touchscreen mit intuitiver Software.
- Überwacht Vakuumpegel und Abscheidungssequenzen als Daten oder Kurven.
- Speichert den Verlauf der letzten 300 Beschichtungen mit einfacher USB-Exportfunktion.
- Ermöglicht die präzise Einstellung der Abscheidungsparameter.
Probenhaltertische
Die Turbopumpen-Kohlenstoffbeschichtungsanlage und der thermische Verdampfer DCT-T-300 bieten verschiedene, individuell anpassbare Probenbühnenkonfigurationen für unterschiedliche Anwenderbedürfnisse. Die standardmäßigen Probenrotationsbühnen sind drehbar und in Höhe und Winkel verstellbar, was eine einfache und vielseitige Handhabung gewährleistet. Optional ist eine rotierende Planeten-Probenbühne erhältlich, die sich ideal für gleichmäßige Beschichtungen auf porösen Proben eignet. Für die Beschichtung größerer Proben wird eine optionale, drehbare 6-Zoll-Probenbühne empfohlen. Diese Bühne bietet zwar keine Neigungsverstellung, aber ausreichend Platz für große Proben.
Standard-Probenhalter
Planetarischer Probenhalter
Drehbarer 6-Zoll-Probenhaltertisch
Der Turbo Pumped Carbon Coater und Thermal Evaporator bietet optional eine Turbomolekularpumpe mit verschiedenen Pumpgeschwindigkeiten, die seine Leistungsfähigkeit verbessert. Zu den wichtigsten Spezifikationen gehören:
- Vakuumkammerabmessungen von 300 mm Außendurchmesser und 200 mm Höhe.
- Endvakuum von weniger als 8 x 10-6 Torr.
- Gesamtmaße betragen 580 x 500 x 630 mm (Höhe x Breite x Tiefe).
- Netzanschluss: 220/110 V, 50/60 Hz, Nennleistung: 2 kW.
- Automatische Steuerung druckunabhängiger Beschichtungsprozesse.
- Präzise Vakuumdruckeinstellung durch automatisches Leckventil.
- Echtzeitvisualisierung der Beschichtungsparameter durch aufgezeichnete Daten.
- Einfache Übertragung von Beschichtungsdatendiagrammen auf einen PC über einen USB-Anschluss.
- Versandgewicht von 46 kg.
Pumpgeschwindigkeit | 90 l / s | 250 l / s | 350 l / s |
Ultimativer Druck | 8/10-6 | 3/10-6 | 8/10-7 |
Optionen und Zubehör
Das Turbo Pumped Carbon Coater- und Thermal Evaporator-System umfasst die folgenden Komponenten und Zubehörteile:
- Kopf und Netzteil für die Kohlestabverdampfung
- Plasmastab und Hochspannungsversorgung für die Plasmabehandlung
- Quarzkristallsensor für präzise Überwachung
- Planetarischer Probenrotationsmechanismus für eine gleichmäßige Beschichtung
- Zusätzliche zylindrische Vakuumglaskammer als Backup oder Ersatz
- Kohlenstofffaser für Abscheidungszwecke
- Dichtungen zur Gewährleistung der Vakuumintegrität
- Quellschiffchen und -körbe zur Materialrückhaltung bei Ablagerungsprozessen