نظام المغنطرون الاخرق
نظام الرش المغناطيسي ToronSP-400 هو نظام ترسيب بخاري فيزيائي على شكل صندوق مصمم بغرف تفريغ منشورية أو أسطوانية. يتميز بـ 1 إلى 4 مصادر رش تيار مستمر/تردد لاسلكي، مما يسمح بترسيب أغشية رقيقة متعددة الطبقات باستخدام ما يصل إلى أربع مواد مختلفة.
يمكن تخصيص نظام ToronVak Sputter لتلبية متطلبات المستخدم، مما يتيح إنتاج أغشية نانوية متعددة الطبقات من المعدن أو الأكسيد أو الكربيد أو النتريد. تشمل المواد المتوافقة Ni وFe وAu وZr وTi وSi وSiO2 وZnO وTiO2 وSi₃N₄ وSiC والمزيد.
أشباه الموصلات والإلكترونيات الدقيقة - ترسيب الأغشية الرقيقة متعددة الطبقات للدوائر المتكاملة وأجهزة الاستشعار والأجهزة البصرية الإلكترونية، مما يضمن الدقة العالية والتوحيد على المستوى النانوي.
علم المواد وتكنولوجيا النانو - تطوير الطلاءات المتقدمة مثل الأفلام المعدنية والأكسيد والكربيد والنتريد للبحث والنماذج الأولية والابتكار في المواد الوظيفية.
البصريات والضوئيات - تصنيع الطلاءات المضادة للانعكاس والموصلة والعازلة للمكونات البصرية والليزر والأجهزة الفوتونية لتحسين الأداء.
الطاقة والتقنيات المتجددة - إنتاج طلاءات غشائية رقيقة للخلايا الشمسية وخلايا الوقود وأجهزة تخزين الطاقة، مما يعزز الكفاءة والمتانة.
هندسة الطيران والسيارات - تطبيق الطلاءات المقاومة للتآكل والمقاومة للتآكل والحاجز الحراري على المكونات الحيوية لتحسين الموثوقية في ظل الظروف القاسية.
خدمات هندسة الأسطح والطلاء - الترسيب الدقيق للأغشية الرقيقة المصممة خصيصًا على ركائز مختلفة للتطبيقات الصناعية والنماذج الأولية ومشاريع الطلاء التعاقدية المتخصصة.
البحث والتطوير - منصة متعددة الاستخدامات للجامعات والمختبرات ومراكز البحث والتطوير للشركات لاستكشاف مواد جديدة وتقنيات الترسيب وعمليات الطلاء متعدد الطبقات.
- التحكم الآلي الكامل من خلال شاشة اللمس - شاشة LCD في الوقت الفعلي للتشغيل السلس
- غرفة فراغ عالية الجودة - غرفة منشورية أو أسطوانية من مادة SS304 ذات أسطح مصقولة كهربائيًا؛ متوفرة بأحجام 30 و40 و50 و60 سم
- تحسين الرؤية والوصول - نافذة عرض أمامية وغطاء قابل للدوران
- تنوعا الاتصال - منافذ QF وCF وISO القياسية مقاس 1 بوصة
- أنظمة داخلية مُحسَّنة - نظام إضاءة وخبز مدمج (حتى 120 درجة مئوية)
- خيارات امدادات الطاقة – تردد الراديو: 13.6 ميجا هرتز، 300-1200 واط | تيار مستمر: 0-1000 فولت، 2000 واط
- أداء فراغ عالي – ضغط القاعدة: 10⁻⁸ تور | يصل إلى 2x10⁻⁶ تور في 20 دقيقة
- نظام الضخ المتقدم - مضخة جزيئية توربينية + مضخة ميكانيكية؛ مضخة تبريد ومضخة جافة متوفرة
- التحكم في الفراغ على نطاق واسع - مراقبة الدقة من 1000 إلى 10⁻⁹ تور
- معالجة العينات القابلة للتخصيص - تسخين يتم التحكم فيه بواسطة PID (50-700 درجة مئوية) ودوران العينة القابل للتعديل (2-30 دورة في الدقيقة)
- وحدة تنظيف البلازما - تنظيف البلازما RF عبر التحيز RF
- نظام التبريد الفعال - بدء التشغيل والإيقاف التلقائي، تبريد مائي مغلق الحلقة
- التحكم في الطلاء الدقيق - قياس معدل سمك القناة المزدوجة (0,1Å/s) باستخدام 1-4 QCMs
- خيارات الرش المرنة - 1-4 مصادر رذاذ مغناطيسي DC/RF (1 بوصة، 2 بوصة، 3 بوصة، 4 بوصة)
- إدارة تدفق الغاز - مدخلات يتم التحكم فيها بواسطة مقياس تدفق الكتلة (Ar، N₂، O₂، He، CH₄، H₂) مع التحكم في الوقت الفعلي بثلاث قنوات
- تنظيم الضغط - صمامات الخانق والتهوية والعزل لضبط الضغط بدقة (1 - 100 ميلي تور)
- دورة التجربة المُحسَّنة - مدة الدورة 1.5 ساعة
- الاحتفاظ بالفراغ - يبقى تحت الفراغ بفضل صمام العزل عند عدم الاستخدام
- التحكم الذكي بالكمبيوتر - أتمتة تعتمد على LabVIEW للطلاءات متعددة الطبقات
- مراقبة الدقة الإضافية - مقياس السعة لقياس ضغط البلازما بدقة
- تصميم مدمج ومتحرك - مساحة 75×120 سم مع عجلات قابلة للقفل، تناسب الأبواب القياسية
- بناء موثوق - ضمان لمدة عام واحد يغطي التصميم والمواد والحرفية
