نظام طلاء مزود بقفل تحميل
يوفر نظام الطلاء ToronTS-450 المزود بغرف Load-Lock معالجة أسرع وجودة طلاء فائقة. تتم عملية تحميل وتفريغ العينة في غرفة Load-Lock، مع وجود ذراع نقل مغناطيسي يحرك العينة إلى الغرفة الرئيسية.
يتوفر هذا التحسين لأنظمة Thermal وSputting وE-Beam وHiPIMS ضمن مجموعة منتجاتنا. يتيح إعداد ToronVak Load-Lock الطلاء في بيئة عالية الفراغ تبلغ 10⁻⁷ Torr مع السماح بتحميل رقاقة جديدة كل 15 دقيقة.
تصنيع أشباه الموصلات والرقائق - ترسيب طبقة رقيقة عالية الإنتاجية على الرقائق مع تقليل مخاطر التلوث، مما يسمح بالمعالجة المستمرة وتبادل العينات بشكل متكرر.
الإلكترونيات الدقيقة والإلكترونيات البصرية - طلاء دقيق للموصلات والعوازل لأجهزة الاستشعار وأجهزة MEMS وأجهزة الكشف الضوئية والمكونات البصرية الإلكترونية في ظل ظروف الفراغ المستقرة.
الطاقة والطاقة الكهروضوئية - طلاء متقدم للخلايا الشمسية وأجهزة تخزين الطاقة بأغشية رقيقة متعددة الطبقات عالية الكفاءة باستخدام الرش التفاعلي والمصادر الحرارية.
هندسة الطيران والسيارات - تطبيق الطلاءات المعدنية والعازلة المتينة على المكونات الحيوية لتعزيز الأداء ومقاومة التآكل والاستقرار الحراري.
طلاءات العرض والبصريات - ترسيب طبقات شفافة ومضادة للانعكاس وموصلة على الزجاج والبصريات وركائز العرض بتوحيد يتم التحكم فيه بالوصفة.
خدمات هندسة الأسطح والطلاء الصناعي - منصة موثوقة لخدمات طلاء العقود، تتيح معالجة فعالة للعينات المتعددة مع تقليل وقت التوقف.
البحث والتطوير - نظام مرن للجامعات والمختبرات وفرق البحث والتطوير في الشركات للتحقيق في مواد الأغشية الرقيقة الجديدة وتقنيات الطلاء والهندسة المعمارية متعددة الطبقات.
- تصميم الغرفة: غرفة فراغ منشورية/أسطوانية مصنوعة من SS304 مع سطح داخلي مصقول كهربائيًا وناعم الملمس وسطوح اختيارية مبردة بالماء.
- تكوين المنفذ: منافذ QF وCF وISO قياسية مقاس 1 بوصة لتسهيل الترقيات إلى مصادر حرارية أو مصادر رش إضافية.
- المراقبة والتحكم: نافذة مراقبة تحجب الأشعة فوق البنفسجية، وغطاء باب دوار، وغطاء عينة مبرمج بواسطة LabVIEW للتحكم الدقيق في السُمك.
- نظام الشفط: مضخات توربينية جزيئية وميكانيكية وجافة ذات تشغيل عالي السرعة، مما يحقق 10⁻⁸ تور الضغط الأساسي في الغرفة الرئيسية.
- أداء قفل التحميل: مضخات مخصصة تصل 10⁻⁶ تور في 10 دقائق، قابلة للتكيف مع الرش، والشعاع الإلكتروني، والمصادر الحرارية.
- الصمامات والعزل: تضمن صمامات الخانق والتهوية والعزل والبوابة بقاء الغرفة تحت الفراغ عند الخمول.
- التحكم الآلي: الترسيب التلقائي بالكامل عن طريق البرنامج أو لوحة التحكم مع شاشات LCD في الوقت الحقيقي.
- نظام التبريد: تبريد مائي أوتوماتيكي ذو حلقة مغلقة مع حماية متشابكة لمنع تنشيط الطاقة بدون ظروف فراغ مناسبة.
- قدرات التقطيع: مسدسات الرش 1”-6” (مدفوعة بتردد لاسلكي وتيار مستمر) مع رؤوس مرنة، ودوران ذاتي المحور، وختم الضغط.
- طلاء المواد: يغطي الموصلات (Au، Al، Ti، Ni) والعوازل (MgO، TiO2، SiO2، TiN) بمعدلات عالية باستخدام التحكم القائم على الوصفة.
- دقة الفراغ: التحكم في الفراغ القابل للتعديل من 1000 - 10⁻⁹ تور استخدام التنظيم المنبع/المنبع.
- تسخين العينة وتدويرها: التدفئة التي يتم التحكم فيها بواسطة PID من 50 - 600 درجة مئوية (حساسية ±1 درجة مئوية) و 2-30 دورة في الدقيقة دوران قابل للتعديل، مع تنظيف البلازما (DC/RF).
- آلية التحميل: ذراع نقل مغناطيسي لسهولة التعامل مع 2 "و 3" و 4 "و 6" العينات.
- قياس السماكة: ثنائي القناة، 0.1 Å/ثانية قياس معدل السُمك بدقة باستخدام اثنين من آلات قياس السُمك الكمي.
- المصادر الحرارية: 8 فولت - 500 أمبير، 4000 وات مصادر حرارية للتبخر المتسلسل والمشترك، بتصميم يقلل من التلوث المتبادل ويسمح باستبدال المصدر بسهولة.
- خلايا الانصباب: 50-800±1 درجة مئوية خلايا التبخر العضوي.
- خلط الغازات ورشها: مدخلات الغاز التي يتم التحكم فيها بواسطة MFC الرقمية (Ar، N₂، O₂، He، CH₄، إلخ.) مع حساسية 0.1 سم مكعب في الدقيقة للرش التفاعلي.
- كفاءة: دورة تجربة مدتها 1.5 ساعة، مما يتيح 10-15 تجربة يوميا.
- ضمان: 2 سنوات التغطية للمواد والتصميم والحرفية.